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中微推出 MOCVD设备，主要用于深紫外LED量产

大学仕 2020-07-30 15:50

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2020年7月30日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）今日宣布推出Prismo HiT3TM MOCVD设备，主要用于深紫外LED量产。

中微Prismo系列MOCVD设备目前已进入全球大多数领先的蓝绿光LED制造商，此次推出的Prismo HiT3TM是中微Prismo系列MOCVD设备的最新产品。该设备是适用于高质量氮化铝和高铝组分材料生长的关键设备，反应腔最高温度可达1400度，具有优异的工艺重复性、均匀性和低缺陷率。该设备同时也为高产量而设计，单炉可生长18片2英寸外延晶片，并可延伸到生长4英寸晶片。

中微公司Prismo HiT3TM MOCVD设备早期的客户包括国内领先的深紫外LED制造商马鞍山杰生半导体有限公司，该公司的深紫外LED在家用、医疗和科研设备等领域有广泛应用。深紫外光几十年前就被应用于工业和民用消毒杀菌领域。它通过破坏细菌和病毒的DNA使其丧失繁殖能力来发挥作用。深紫外LED被用于不同波长的杀菌灯中，且与传统的汞灯相比对环境无污染。

类似SARS、MERS和新冠病毒的出现使得深紫外LED产品的需求激增，深紫外LED产品可以消灭这些新生微生物。波长260-280nm的UVC波段的深紫外光就是目前该领域最先进的技术解决方案（例如杰生半导体的深紫外LED产品）。

中微公司设计的Prismo HiT3TM MOCVD设备具有新颖的腔体设计，能在高温环境下生长高质量氮化铝工艺，并具有业内领先的深紫外LED高产出率；同时具备较长的平均免开腔维护间隔时间，进一步延长正常运行时间并提高产能。真空自动化传输系统可以抑制颗粒物的产生，并减少缺陷。自动化升降机构可方便维护操作并有效节省维护时间。

“我们现在已经看到了深紫外LED带来的切实好处，它已成为消灭有害病原体的重要工具。”杰生半导体有限公司董事长康健说道，“随着深紫外LED技术的持续发展，我们为能够在公共和家庭消毒产品领域处于领先地位而感到自豪。中微公司设计的Prismo HiT3TM MOCVD设备可以满足深紫外LED大批量、低生产成本的制造需求。中微公司凭借其世界一流的工艺专长和高性能的MOCVD设备解决方案，是值得信赖的合作伙伴。”

“中微自主研发的Prismo HiT3TM MOCVD设备延续了我们现有Prismo平台已验证的主要创新功能，并提升了可在高温工艺环境下生长氮化铝基材料的性能，使之拓展到深紫外LED的应用。”中微公司执行副总裁兼首席运营官杜志游博士说道，“杰生半导体始终致力于持续发展LED技术并创造有益于人类健康的产品，我们很高兴杰生成为我们的早期用户，同时也很荣幸我们的设备解决方案能够助力客户研发下一代深紫外LED产品，并在技术研发和成本控制上帮助客户达成目标。”
（文章来源于贤集网）

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