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新型倾斜波干涉仪用于非球面的快速高精度测量
大学仕 2020-12-17 15:57
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  新型Mahr倾斜波干涉仪（MarOpto TWI 60）是一种高度灵活的干涉仪，用于非球面的快速高精度测量。非球面透镜或非球面透镜是一种光学器件，其表面由多项式方程式定义。非球面镜绕光轴旋转对称，但它们的曲率半径随距中心的距离而变化。与传统镜片相比，非球面镜片具有更高的性能，可减少尺寸，质量和所用元件的数量，这是微型化的重要特征。

  医疗仪器，望远镜和照相机的制造商使用非球面镜来改善其产品。俗话说：“有光，就必须有阴影”，对于非球面镜片，与传统镜片相比，这种镜片的生产和计量需要更复杂和创新的技术。




  新颖的非接触式计量系统使用“倾斜波前干涉法（TWI）”，该技术利用六脚架平行运动学6轴运动系统的多轴灵活性和准确性来定位校准球。Mahr实施的新测量方法将速度和灵活性结合在一起。MarOpto TWI 60机器可以直接在生产线上以高横向分辨率测量表面形状，测量不确定度小于50纳米。计量系统获取在不同时间处于活动状态的几个子孔径，并将各个干涉图样组合在一起以形成一个图样。

  在大约30秒的数据采集时间内，非球面的整个表面以较高的横向分辨率和较低的测量不确定度进行测量。最重要的是，既不需要CGH（计算机生成的全息图），也不需要拼接。



  测表面偏差的优势如下：不使用CGH的非球面镜片的灵活干涉测量，无需缝合即可进行测量，大约30秒的短数据采集时间，光束直径100毫米，与最合适的球体相比，允许的非球面偏差约为1.5mm。
（文章来源于贤集网）

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