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晶圆切割自动化设备

大学仕 2021-01-07 09:19

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本实用新型公开了一种晶圆切割自动化设备，包括划片机、地轨、有轨制导小车、防护网、中控、料架、裂片机其中，若干数量的划片机和裂片机呈线状放置，划片机上设置有划片机作业门，划片机作业门内部安装有划片机卡塞摆放平台，裂片机上设置有裂片机作业门，裂片机作业门内部安装有裂片机卡塞摆放平台，每台划片机作业门与裂片机作业门对向放置。本实用新型的优点在于，可实现晶圆的自动运输加工，利用自动运输小车进行水平方向移动，自动运输小车上机械手臂控制抓取片源放置划片机和裂片机中作业，有效的降低了人力成本，具有生产效率高，人力成本低的特点。

1.一种晶圆切割自动化设备，包括划片机：1、地轨：2、有轨制导小车：3、防护网：4、中控：5、料架：6、裂片机：7，其特征在于若干数量的划片机：1，和裂片机：7，呈线状放置，划片机：1，上设置有划片机作业门：12、划片机作业门：12，内部安装有划片机卡塞摆放平台：13、裂片机：7，上设置有裂片机作业门：14、裂片机作业门：14，内部安装有裂片机卡塞摆放平台：15、每台划片机作业门：12，与裂片机作业门：14，对向放置，在划片机：1，和裂片机：7，中间铺设有地轨：2、有轨制导小车：3，安装在地轨：2，上，在地轨：2，上移动，有轨制导小车：3，上安装六轴机械臂：24、六轴机械臂：24，上安装机械手爪：25、地轨：2，两端设置有防护网：4、所述中控：5，由显示器一：26、显示器二：27，及电脑：28，组成，显示器一：26，显示有轨制导小车：3，运动状态，显示器二：27，显示机台运作状态，所述划片机卡塞摆放平台：13、裂片机卡塞摆放平台：15，上分别安装有倒角一：32、倒角二：33，。2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割自动化设备，所述地轨：2，由安全护板：8、小车轨道基座：9、直线导轨：10、驱动齿条：11、线槽：34，组成，其特征在于若干数量的小车轨道基座：9，平行并列设置，小车轨道基座：9，之间通过一根直线导轨：10，固定，小车轨道基座：9，两端安装有驱动齿条：11、驱动齿条：11，一侧安装有安全护板：8、安全护板：8，与驱动齿条：11，平行设置，安全护板：8，内设置有线槽：34，。3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割自动化设备，其特征在于所述有轨制导小车：3，下方安装有轮子：36、轮子：36，放置于直线导轨：10，上，与直线导轨：10，活动连接，有轨制导小车底板：17，上方安装有有轨制导小车控制箱：16、伺服电机：18、控制箱：19、有轨制导小车：3，外部由有轨制导小车车体外壳：23，包裹，有轨制导小车车体外壳：23，上安装有无线信号传输模块：20、机械防撞部件：21、激光测距仪：22，和六轴机械臂：24、六轴机械臂：24，与机械手爪：25，连接，机械手爪：25，由视觉相机：29、料框手爪：30、相机光源：31，组成。