晶圆切割自动化设备
大学仕
2021-01-07 09:19
481浏览
本实用新型公开了一种晶圆切割自动化设备,包括划片机、地轨、有轨制导小车、防护网、中控、料架、裂片机其中,若干数量的划片机和裂片机呈线状放置,划片机上设置有划片机作业门,划片机作业门内部安装有划片机卡塞摆放平台,裂片机上设置有裂片机作业门,裂片机作业门内部安装有裂片机卡塞摆放平台,每台划片机作业门与裂片机作业门对向放置。本实用新型的优点在于,可实现晶圆的自动运输加工,利用自动运输小车进行水平方向移动,自动运输小车上机械手臂控制抓取片源放置划片机和裂片机中作业,有效的降低了人力成本,具有生产效率高,人力成本低的特点。 1.一种晶圆切割自动化设备,包括划片机:1、地轨:2、有轨制导小车:3、防护网:4、中控:5、料架:6、裂片机:7,其特征在于若干数量的划片机:1,和裂片机:7,呈线状放置,划片机:1,上设置有划片机作业门:12、划片机作业门:12,内部安装有划片机卡塞摆放平台:13、裂片机:7,上设置有裂片机作业门:14、裂片机作业门:14,内部安装有裂片机卡塞摆放平台:15、每台划片机作业门:12,与裂片机作业门:14,对向放置,在划片机:1,和裂片机:7,中间铺设有地轨:2、有轨制导小车:3,安装在地轨:2,上,在地轨:2,上移动,有轨制导小车:3,上安装六轴机械臂:24、六轴机械臂:24,上安装机械手爪:25、地轨:2,两端设置有防护网:4、所述中控:5,由显示器一:26、显示器二:27,及电脑:28,组成,显示器一:26,显示有轨制导小车:3,运动状态,显示器二:27,显示机台运作状态,所述划片机卡塞摆放平台:13、裂片机卡塞摆放平台:15,上分别安装有倒角一:32、倒角二:33,。2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割自动化设备,所述地轨:2,由安全护板:8、小车轨道基座:9、直线导轨:10、驱动齿条:11、线槽:34,组成,其特征在于若干数量的小车轨道基座:9,平行并列设置,小车轨道基座:9,之间通过一根直线导轨:10,固定,小车轨道基座:9,两端安装有驱动齿条:11、驱动齿条:11,一侧安装有安全护板:8、安全护板:8,与驱动齿条:11,平行设置,安全护板:8,内设置有线槽:34,。3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割自动化设备,其特征在于所述有轨制导小车:3,下方安装有轮子:36、轮子:36,放置于直线导轨:10,上,与直线导轨:10,活动连接,有轨制导小车底板:17,上方安装有有轨制导小车控制箱:16、伺服电机:18、控制箱:19、有轨制导小车:3,外部由有轨制导小车车体外壳:23,包裹,有轨制导小车车体外壳:23,上安装有无线信号传输模块:20、机械防撞部件:21、激光测距仪:22,和六轴机械臂:24、六轴机械臂:24,与机械手爪:25,连接,机械手爪:25,由视觉相机:29、料框手爪:30、相机光源:31,组成。