某种高可靠智能蒸镀装置
大学仕
2021-04-30 14:11
943浏览
1、一种高可靠智能蒸镀装置,其特征在于,所述高可靠智能蒸镀装置包括: 3、根据权利要求1所述的高可靠智能蒸镀装置,其特征在于,所述机体包括:一个壳体,其具有一个蒸镀真空腔:所述 蒸镀真空腔具有真空室延伸方向;所述壳体形成一个腔口:所述腔口的延伸方向垂直于所述真空室延伸方向;所述腔口连通所述蒸镀真空腔;一个门体,其通过一个平行于所述真空室延伸方向的转动轴线,可转动的设置于所述壳体且能够覆盖于所述腔口;所述门体密封于所述腔口后与所述蒸镀真空腔形成所述真空