种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，属于半导体加工设备技术领域，包括上料壳和上料座，所述上料壳固定安装在上料座的顶部；本发明中，在清洁机构的下方设置有回收机构，清洁机构对于上料皮带进行清理时，清理下的一些余料会直接落入下方的回收机构内，通过压力的逐步增加，最终动力传递齿轮给予底齿条一个强大的反向啮合推动力，将回收箱有效侧推，回收箱会由于其强大的惯性侧移至初始端，此时人工可进行回收，摒弃了传统的定位式的回收结构设计，通过联动设计，可对于回收物的量进行自动监测，同时，可在无需驱动源的情况下，有效将回收物快速送至初始端，无需人工运料，省时省力，提高回收效果与效率，且较为节能。种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，包括上料壳（2）和上料座（7），其特征在于：所述上料壳（2）固定安装在上料座（7）的顶部，所述上料壳（2）的内部设置有上料槽（1），所述上料壳（2）的后侧外壁上固定安装有传动电机（4），所述传动电机（4）的输出轴上固定安装的转轴外部固定安装有传动辊（14），所述传动辊（14）上设置有上料皮带（3），所述上料皮带（3）设置有放置槽（9）与顶行程槽（10），所述上料皮带（3）的内表面上设置有内防滑垫（13），所述上料皮带（3）的上表面固定安装有挤压块（11），所述上料皮带（3）的内部设置有防碎组件（12）；2.根据权利要求1所述的种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，其特征在于，所述上料座（7）的内壁上通过安装架固定安装有清洁机构（15），所述清洁机构（15）包括刷座（154），所述刷座（154）的内部纵置固定安装有中置限位杆（157），所述中置限位杆（157）的外部固定安装有外弹簧（158），所述中置限位杆（157）的外部滑动安装有挤压轴（151）。 某5.根据权利要求4所述的种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，其特征在于，所述侧杆（195）的一端穿过所述回收箱（199）的侧壁上开设的开口槽（193）延伸至回收箱（199）的外侧，所述侧杆（195）的底部固定安装有挤压底轴（196），所述回收箱（199）的底部固定安装有底滑条（194）与底齿条（197），所述回收箱（199）的侧壁上固定安装有侧手柄（1912），所述侧手柄（1912）位于所述上料座（7）的侧壁上开设的侧行程槽（8）内，所述回收箱（199）的底面内壁上设置有储油袋（1910）。 某8.根据权利要求7所述的种具有防碎装置的扩散自动化插片机上料设备，其特征在于，所述限位伸缩轴（162）的伸缩端贯穿支撑面（18）内开设的卡孔，所述限位伸缩轴（162）与上料壳（2）的一侧内壁之间固定安装有回拉动力弹簧（163），所述回拉动力弹簧（163）的弹性限度大，所述动力传递齿轮（164）通过转轴转动安装在上料座（7）的内部，所述动力传递齿轮（164）与驱动齿条（161）及底齿条（197）均相互啮合连接。