设备布局
工艺流程
高精度气浮平台是一种利用空气轴承技术实现无摩擦、高精度运动的设备。它通过压缩空气在平台与底座之间形成一层极薄的气膜,使平台能够以极低的摩擦力和高稳定性进行移动。这种平台广泛应用于精密制造、光学检测、半导体加工、纳米技术等领域,诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
特点: 直线度、重复性和定位精度极高。 速度快、同步性高。 高度定制化(不同的承载、不同的行程、不同的精度要求、不同的电气控制和不同的使用环境)
典型应用场景: 1).光刻机:用于半导体制造中的高精度对准和曝光。 2).光学检测设备:用于镜头、棱镜等光学元件的精密检测。 3).纳米压印设备:用于纳米级图案的复制和加工。 4).精密测量仪器:如三坐标测量机、激光干涉仪等。
项目成效
自动化解决方案 | 用工情况 | 产能(每8小时) | 良品率 |
实施前 | 10人 | 1000个 | 90% |
实施后 | 1人 | 10000个 | 100% |