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星纳微(天津)精密科技有限公司

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当前位置: 星纳微(天津)精密科技有限公司  项目案例  / 两轴龙门气浮平台

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[成功案例] 两轴龙门气浮平台

二维定位
  • XY两轴龙门气浮平台

  • 自动化

  • --

  • 20.00万元

--

自动化解决方案 用工情况 产能(每8小时) 良品率
实施前 10人 1000个 90%
实施后 1人 10000个 100%
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高精度气浮平台是一种利用空气轴承技术实现无摩擦、高精度运动的设备。它通过压缩空气在平台与底座之间形成一层极薄的气膜,使平台能够以极低的摩擦力和高稳定性进行移动。这种平台广泛应用于精密制造、光学检测、半导体加工、纳米技术等领域,诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。

特点: 直线度、重复性和定位精度极高。 速度快、同步性高。 高度定制化(不同的承载、不同的行程、不同的精度要求、不同的电气控制和不同的使用环境)

典型应用场景: 1).光刻机:用于半导体制造中的高精度对准和曝光。 2).光学检测设备:用于镜头、棱镜等光学元件的精密检测。 3).纳米压印设备:用于纳米级图案的复制和加工。 4).精密测量仪器:如三坐标测量机、激光干涉仪等。

项目成效

自动化解决方案 用工情况 产能(每8小时) 良品率
实施前 10人 1000个 90%
实施后 1人 10000个 100%

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