[成功案例] 3D轮廓仪/3D形貌轮廓测量机/3D自动量测机

对产品进行三维形貌测量

集合了相位差干涉，白光干涉，共聚焦，多焦面叠加的四合一的技术

可以做面型测量，共面度检测，研磨后的粗糙度检测，颗粒度检测，结构测量

孔深孔径，真圆度，膜厚测量，RDL线路量测

镭切槽检测，线宽，线距，去干膜前铜厚，SOLDER MASK开口尺寸，铜面粗糙度等众多三维量测项目

1).高精度（0.1nm高度分辨率）

2).超快速（2S/FOV）

3).多功能（共聚焦/干涉/多焦面）

4).多点编程量测

5).自动化（自动扫描、自动数据统计、自动数据上传）

6).条码读取调用模板

7).CCD影像定位（涨缩、摆放偏移校正）

8).SECS/GEM